クリーンルームフロアレイアウト図

① 三連タイプエアシャワー
クリーンルーム内の塵の持込を極限まで除去するために、更衣室前に通り抜けます。
② スイング式エアシャワー
周動式リニアノズルとバンカーノズルの併用によって、高度な清浄を行います。
③ 小型コンベア式エアシャワー
コンベアと組み合わせてエアを吹き、出荷前の製品をクリーンな状態にしてから外部へ搬出します。
④ シャワー付パスボックス
クリーンルーム内と外で、ものの受け渡しを行うときに使用します。外部の汚染された空気の影響を最小限に抑えると同時に、エアを吹いて塵埃を除去してからクリーンルーム内に運び込めます。
⑤ クリーンベンチ
クリーンルーム内で局所的に高い清浄度を保つ装置です。清浄な層流空気を一方向に送風することで、内部発塵などによる汚染を防ぎます。
クリーンブースも同様に、クリーンルーム内で局所的に高い清浄度を保ちます。
⑥ ファンフィルターユニット
空気吹出し口として、主に室内天井部に取り付けます。高性能ＨＥＰＡフィルタを通して浄化された空気を室内に供給し、クリーンな作業環境を保ちます。
⑦ クリーンパネル
⑧ 空調機
⑨ 大型集塵ブース
クリーンルーム内の作業で発生する塵や粉を、外部にもらすことなく除去するために利用します。
⑩ クリーンロッカー
クリーンルーム内の作業で使用する作業着を除塵し、保管します。